PDK说明

drf文件

drf文件定义图层信息。包括填充颜色、边框颜色、填充形状、边框形状、图层组合包。

{
// 定义图层颜色
"drDefineColor": [
    "#FFFFFF",
    "#FFE4E1",
    "#FFF5EE"
],
// 定义图层填充样式
"drDefineStyle": [
    "F0",
    "F1",
    "F2",
    "F3",
    "F4",
    "F5",
    "F6",
    "F7",
    "F8",
    "F9",
    "F10",
    "F11",
    "F12",
    "F13",
    "F14"
],
// 定义图层边框样式
"drDefineLineStyle": [
    "B1",
    "B2",
    "B3",
    "B4",
    "B5"
],
// 定义图层边框颜色
"drDefineOutlineColor": [
    "#FFFFFF",
    "#FFE4E1",
    "#FFF5EE"
],
// 定义图层样式包
"drDefinePacket": [
    {
        "PacketName": "KeyPoInt*",
        "Stipple": "F0",
        "LineStyle": "B1",
        "FillColor": "#FF0014",
        "OutlineColor": "#9D0000"
    }
]
}

drDefineStyle定义了填充形状,目前只能从以下样式中选择

drDefineLineStyle定义了边框形状,目前只能从以下样式中选择。

tf文件

tf文件主要用于编写该工艺中使用的图层信息，包括图层名称、图层编号、图层样式、图层设置。

{
// 定义图层名称编号、图层设置、drf文件中的图层样式包
"layerDefinitions":
    {
        "Name": "KeyPoInt",
        "Layer": 0,
        "Packet": "KeyPoInt*",// 使用drf中定义的图层样式
        "Lock": false,
        "Visible": true,
        "Export": true
    }
}

drc文件

drc文件用于检测版图图层是否符合工艺规则。要使用drc功能，首先需定义版图图层名称和编号，然后使用函数检测。

# 定义图层名称、编号
Base_L1 = drc.input(layer=2, datatype=0)
CPW = drc.input(layer=1003, datatype=0)

# 将layer1和layer2图层对象进行“and”运算
CPW_pipe = drc.boolean(layer1=Base_L1, layer2=CPW, operation="and")

# 将“and”运算后的结果做内部间距检测
CPW_pipe_width_check = drc.internal(layer1=CPW_pipe, value_limits="x<2", abut_limits="x<90", out="polygons")
CPW_pipe_width_check.output("共面波导管道宽度检测","共面波导管道宽度间距小于2um，输出结果为多边形")

工艺文件

工艺文件主要用于生成3D图形。包括工序类型、图层名称、图层编号、结构层名称、结构层材料、角度、刻蚀深度/沉积厚度、工艺说明。

{
"CrossSectionProcess":
    {   "Step": "etch",
        "Layer": "layer13",
        "LayerNum": 13,
        "Material": null,
        "MaterialLabel": null,
        "AngleDegree": 90,
        "Depth": 15,
        "Color": null,
        "Comment": "将图层13量子点区域的氧化铝刻蚀15nm深度"
    }
}